Quay lại

Study on diamond dressing for non - uniformity of pad surface topography in CMP process

...
Loại CSDL: Luận án tiến sĩ
Tác giả: Pham, Quoc Phong
Thông tin xb: Taiwan: National Taiwan University of science and Technology, 2017
Ký hiệu xếp giá: 530.4 / Ph431
Mô tả vật lý: 144 p., 27 cm
Nhóm chủ đề: Diamond dressing; Pad cutting rate
Tác giả bổ sung: Chen, Chao - Chang A.

Tìm kiếm thêm

Trung tâm Học liệu – Phát triển Dạy và Học
Số 126 - Nguyễn Thiện Thành, Khóm 4, phường 5, TP. Trà Vinh - Tỉnh Trà Vinh. ĐT: (074)3855246 - 232 - Email: lrc@tvu.edu.vn